虽然芯片工厂问题不大,有帝都提供,王逸可以省下几十亿。
但里面的生产线,光刻机等设备,都要王逸自己解决。
这些才是最贵的,保守估计后续投入也得一百五十亿起步。
像是光刻机,2010年阿斯麦就推出了euv光刻机twinscan nxe:3100。
前世,2013年阿斯麦又推出euv光刻机 nxe:3300。
不过这些先进的euv光刻机,王逸就不考虑了,不现实,不可能对内地企业出售的。
前世中芯国际订购了一台euv光刻机,了1.2亿美金,钱都付了,最后因为帝国阻挠,阿斯麦也迟迟没有发货。
相反,内地企业能买到的,也就是落后很多代的duv光刻机。
比如2016年出的nxt 1980di,是前世内地企业买到的最先进光刻机之一,也是中芯国际主力机型。
像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,很多都是用的nxt:1950i!
nxt 1980di原本用于制造300nm-38nm制程,二重曝光后可以达到19nm制程。
其实1950i/1960bi/1970ci/1980di,这四款光刻机都是同样的光源系统,单次曝光都在38nm以上,多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm,甚至7nm。
当然,2011年nxt 1980di还没有发布。
可7nm制程,就要用nxt 1980di四重曝光,技术方面梁老都能解决,但良品率和成本就不好说了。
为此,王逸拿出手机,开始查数据。
进上十台,就是35亿。
比如尼康的nsr-s620d和阿斯麦的1950i,性能差不了多少,多重曝光后也可以做10-28nm,甚至7nm。
最初,台积电用nxt:1980di来制造7nm芯片,效果很不理想,良品率低,成本高,最后还是换上euv光刻机,才实现了完美的7nm。
中芯国际,华力等企业,都是用nxt 1980di二重曝光,量产28-19nm的芯片。
后续的nxt:1960bi、1970ci、1980di,不过是在nxt:1950i进行了部分升级,提高了良品率和精度,本质上相差不大。
同样,王逸的12英寸晶圆厂,若是买到nxt:1950i和1960bi,也能从明年的28nm,一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,甚至7nm。
只要不量产7nm,都没压力。
巧妇难为无米之炊。
20台就是70亿!
为什么一次性进这么多?还不是怕做大了被锤!
但中芯国际买不到euv光刻机,只能硬着头皮用nxt 1980di进行三重曝光,四重曝光,甚至五重曝光。
哪怕溢价买,都不成问题!
原本光刻机三巨头阿斯麦,尼康,佳能。
当然趁着当下风头不紧,抓紧多进一些!
这样后续产能扩大,都够用,一直用到2018年1980di都不再禁售。
梁老的两重曝光技术,不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上,成本也不会增加太多。
14nm需要三重曝光,凭借梁老的技术,良品率和成本也能保证。
若是趁机出手,多订一批,那后续就高枕无忧