结构之间又有电路连接,所以套刻精度还是要保证的。
至于双工件台,就先扔一边了,一个工件台还没搞利索呢,想那么多是给自己找麻烦。
“高总,你这个东西的定位精度要半丝?”一群老八级工有点嘬牙。
1丝,从机加工的角度,等于10微米,半丝,5微米。
高振东点点头:“嗯,先不考虑移动定位精度,就考虑两个工件固定时定位的相对精度就可以。”
如果微缩投影还没搞通的话,那移动定位精度就意义不大,因为不需要在晶圆上一个芯片一个芯片的刻,而是一次性投影出整个晶圆的图像,这种情况下,哪怕套刻,主要考虑的也就是模版、晶圆固定时的相对位置精度了。
之所以一开始都是搞的接触式或者接近式光刻机,这就是原因,技术简单得多啊。几位老师傅,包括易中海在内,放下了大半的心,这个就好办多了。
高振东把整个光刻机机械部分的要求发给他们,并给他们一一解释,光刻机可不只前面那么一点东西,比如光刻胶的涂覆、无尘环境的生成等等
其实早期的光刻机,看起来像个化学实验室的通风橱柜似的,而且还带显微镜,用于人工调整观察,又像一个生物上用的玩意,反正就是不像个工业上用的机器,完全没有后来看起来那么高大上。
听了高振东的要求,所有的老师傅觉得这还是有门儿的,问题不大,领了任务就去工作了,这些老师傅,有的是三分厂的,有的是从其他车间临时借来帮忙的,不管哪儿来的,反正这段时间都要在三分厂的研究场地里干活了。
至于其他部分工艺,都交给1274厂了,他们那边条件成熟,好歹还是专业半导体厂嘛。
与此同时,保卫处长正在和刘海中谈话,刘海中虽然也是老锻工了,可是离八级还有距离,也够不上掺合三分厂的特殊项目,至于生产,他不是三分厂的人就更说不上了。
保卫处长找他谈话,是有好事情找他,至少在他看来是这样。
“刘师傅,你是厂里的老同志,从伱一贯表现来看,对于我们的保卫和安全工作,是非常上心、非常积极的”
保卫处张处长上来就先把刘海中猛夸了一通,听得刘海中是无比的舒坦,心思禁不住有些活泛起来。
老刘我,这是要时来运转了?领导终于看到我的努力了?愿意给我机会,给我加担子了?
就在他浮想联翩,美梦连连的时候,果然就听到了天籁之音。
“.你的表现,厂里也都是看在眼里,记在心里的,所以,现在有个担子,想看看你愿不愿意挑一挑?”
一通夸奖之后,张处长总算是说出这次叫他过来的原因了,把刘海中急得不行。
担子?挑一挑?
说到这个,刘海中可就不困了,脑袋里如一声炸雷响过,我就说嘛,我的努力和态度,总之是不会被领导们忽略的嘛。
他的文化,也想不出诸如“明珠蒙尘”、“怀才不遇”之类的话,总之就是想得挺朴实。
有担子是吧,还没听是什么呢,刘海中已经忙不迭的点头:“我愿意,我愿意,请组织和群众考验我。”
这种话他在收音机里听了不少,顺口就说出来了。
张处长皱了皱眉:“刘师傅,别急别急,你暂时还不是组织的人,用不着组织考验。”
早就听说这个刘海中有点想进步想昏了头,如今看来果然有点儿不太正常。
“哦哦哦,那请厂里尽管给我压担子,我绝不皱眉。”担子越重,不就意味着位置越高嘛。
不至于不至于,张处长心里想着,嘴里说着:“是这样,我们厂的生产任务和生产的产品,是越来越重要了,为了生产工作的安全进行,厂里决定加大保卫巡逻的力度。这么一来,光靠我们保卫处和民兵队的力量,就有点不够了。厂里希望从老同