,那边事情还不少。
不过按照惯例,光学所的同志还是带着他们一行几人,在光学所里参观了一遍,当然,仅限于能参观的那部分。
最后,李工带着高振东来到一间试验室外,指着试验室道:“高总工,这里面,就是你们要的激光扩束光学系统了,现在已经处于待机状态。”
高振东精神一振,在李工的带领下,换上防护服,进入了试验室。
防护服不是保护高振东他们的,而是保护设备的,确保不能有大量粉尘等进入试验室。
映入高振东眼帘的,是一个略显圆柱形的金属物体,大部分光学系统都被包裹在内,侧面靠中间位置开了一个口,这个口子是用来放掩膜的。
高振东和负责机械的同志仔细端详着这个机器,光学所的同志向他们介绍:“这个机器工作波长355nm,光学调制传递函数在理想位置大概是0.63左右,光程差小于四分之一波长,数值孔径0.029,放大倍率1。”这些高振东就是真的不懂了,除了355nm的工作波长和放大倍率1之外,其他的他都不清楚:“李工,这意味着什么?”
李工不以为意,这位毕竟不是搞光学的:“这意味着他的分辨率为9μm。”
9μm?高振东一下子就炸了,这个分辨率,搭配较小的形变,10μm线宽不是梦啊。
“李工,那图像的形变情况怎么样?”
“很小,最大场曲在15μm范围内,最大像散在7μm左右,总体畸变小于1ppm,像面不均匀性小于2%,我想对于你们的要求是完全没有问题的。”李工笑道,对此他也颇为自得。
这个机器,高振东要求的投影直径是160mm左右,1ppm的畸变,意味着不到1μm,这对高振东的想法来说是完全足够了。
高振东哈哈大笑:“李工,太谢谢你们了!辛苦辛苦!”
李工笑道:“能满足你们的要求就好,今天时间也比较晚了,具体的其他事务,我们明天继续怎么样?”
高振东在兴奋中连连点头:“好,今天就不麻烦同志们了,我们明天再继续。”
当天晚上,高振东辗转反侧,想了半个晚上。
第二天一早,高振东带着人,早早的就来到试验室门口,李工已经等在那里了,一行人换好衣服进去。
高振东进去之后,李工开始张罗着叫人用标准掩膜,进行一遍完整的测试,毕竟他昨天说归说,但是完整的测试流程是要走一遍给高振东他们看的,这算是甲方来验收了。
试验一边进行,高振东一边拿着整套光学系统的指标在看,他想看看能不能达到自己的想法。
看着看着,他皱了一下眉头。
“李工,这套系统的透光率,是30%多?”高振东问道。
他没好说“只有30%多”这个话,有点儿不太好。
李工脸上露出了一点儿不好意思的神色:“嗯,355nm这个波长已经进入紫外波长了,透光率天生就比较差,加上材料的原因,就比较难看了。”
紫外线波长是10nm到400nm,能量高,但是穿透性差,这个有点像辐射中的阿尔法射线,能量最高,但是一般常见的阿尔法射线一张打印纸都能挡得住。
这个透光率,还是因为355nm波长比较长,穿透性还没恶化到底的原因。
这让高振东感到有些难办了,这样一来,如果第二步需要微缩投影,加上微缩那一套光学系统,透光率会进一步恶化,虽然那一步是要聚焦的,但是哪怕是现在,这个透光率都已经到了危险的边缘了,激光功率做大,不是大力出奇迹那么简单的,能保留越高的透光性越好。
高振东现在也不好说,毕竟勉强够用,只是问了一句:“现在的材料透光率多少?”
“400nm波长10mm透光率不小于99%,300