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第843章 等等!我可能有办法(2 / 3)

解决两个问题,一是促进反应,增加孔洞的深度,二是利用双氧水易分解的特性,促进气泡从硅片表面脱离,解决你们说的气泡问题。”

唐少辉连忙记下来,听起来都很有道理的样子,也不知道高总工就这么想一小会儿是怎么想到的。

不过想起他刚才在高总工桌上看到的一本有机化学的书,他好像明白过来,高总工那是一直在不停的学习啊,至于有机化学和无机化学有多少联系,那不管,反正都是化学就对了。

“至于扩孔的反应速度问题,先放一边,你们不是有个除银工序嘛,也加双氧水!”

高振东把唐少辉整得有些蒙蔽,什么都加双氧水是吧?

“这一步,双氧水的易分解特性,产生的气泡对硅片起到漂洗作用,能够更干净的除掉银单质和银离子,同时银离子和双氧水生成的氢氧化银不稳定,容易分解生成水和氧化银,也能有助于沉积的银离子的去除。”

这么短的时间里,唐少辉和搞化学的同志,考虑不到这么深远,所以高振东干脆把他们这个短板补上。唐少辉麻了,好吧,听起来好像也很有道理的样子。

“你刚才提到的扩孔阶段反应速度过快,容易造成凹孔过大,反而反射率会上升,这个问题啊,你们还是加双氧水,因为这一步不只是氢氟酸这种弱酸,还有硝酸这种强酸,此时,过氧化氢能抑制反应速度。”

又是双氧水!唐少辉彻底麻了。

双氧水是万应灵丹是吧?

高振东补充了一句:“不过你们要注意一点,反射率太小也不是好事,会有热斑效应,反而就把事情办坏了。”

说到这里,他又想起来一个事情:“对了,如果除泡效果还是不好,你们可以用数万hz的超声波,每隔一段时间,比如几十秒的样子,去冲击一下硅片,冲几秒就行,具体的时间你们在试验中调整。但是切记,不能连续冲击,会对挖孔和扩孔反应产生影响的。”

这个好理解,用超声波把硅片抖一抖,把气泡抖下来,唐少辉在冲击中唯唯诺诺,如实记录。

至于其他的,高振东没有多干涉,自己手上的工艺文件不见得放到现在是最合适的,解决核心问题就行,其他的还是让同志们在现有环境下自行摸索比较好。

唐少辉被高振东的双氧水三连给整懵逼了,直到回到实验室,还有点昏戳戳的。

一位高校支援到课题组来的化学专业的同志,见他回来,兴冲冲的凑上去。

“唐工,汇报得怎么样?高总工同意我们走沉银这条路子了么?”

唐少辉点点头:“同意了,并且还给了我几个解决当前工艺问题的办法。来,苟老师,你给看看。”

这话让苟老师惊喜不已,汇报就汇报嘛,居然还能有意外之喜,说实话,他们就压根没想起高总工还能在化工工艺上给解决问题这个事情,毕竟看起来和高总工的专业差太远,不指望。

战鼓2导弹:你猜我的偏二甲肼燃料是谁搞的量产工艺?

“真的?快给我看看。”苟老师没有因为高振东不是搞化学就小瞧高振东的想法,不到三十岁的技术三级,在技术上干出什么事情都不奇怪。

还在被高振东的一记三连一脑袋圈圈的唐少辉将自己记下来的内容交给苟老师。

苟老师扫的第一眼,和唐少辉一样,傻了。

“双氧水?又是双氧水?还是双氧水?噢,第一步有点儿硅酸盐。”

但是当他仔细阅读和分析起唐少辉记下来的其他事情,脸上的喜色越来越浓,到最后嘴角那个笑容,简直包不住。

别看高总工这个双氧水三连看起来有点离谱,但是细看下来,好像还真是这么回事儿,至少看起来没毛病。

最后的那个超声波冲击除气泡的操作,更是让他眼前一亮,化学和物理方法两手一起抓,总有一个起效的嘛。

“唉呀

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